壓力傳感器是壓力變送器中將壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電壓信號的關(guān)鍵器件。 擴(kuò)散硅式壓力變送器的敏感元件是擴(kuò)散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測量介質(zhì)與硅片隔離開。其特點是輸出靈敏度較高,價格較貴。 陶瓷式壓力變送器的敏感元件是陶瓷壓力傳感器,有陶瓷膜片與測量介質(zhì)隔離。其特點是抗腐蝕能力較強(qiáng),價格低,輸出靈敏度低。 使用時可跟據(jù)測量介質(zhì)的種類和量程選用。
擴(kuò)散硅壓力變送器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制領(lǐng)域,它是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
使用擴(kuò)散硅壓力變送器時的注意事項
1.溫度補(bǔ)償,擴(kuò)散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體,半導(dǎo)體具有很強(qiáng)的溫度特性,沒有溫度補(bǔ)償,測量誤差可能會比較大。
2.擴(kuò)散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚,千萬不能觸碰。
3.供電電壓要穩(wěn)定,傳感器內(nèi)部實際就是一個電橋,供電電壓波動會引起橋路輸出變化,影響測量精度。
4.要在額定電壓內(nèi)使用,過壓會導(dǎo)致傳感器損壞。
5.輸出端不要短路