工作原理
FY810系列擴(kuò)散硅壓力傳感器系全部采用進(jìn)口芯片,經(jīng)過(guò)精心的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),信號(hào)處理和組裝,并按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行測(cè)試而生產(chǎn)出來(lái)的新一代壓力傳感器。基本原理是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)和微機(jī)械加工技術(shù),在單晶硅片的特定晶向上,用光刻、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝制做一惠斯登電橋,形成敏感膜片,當(dāng)受到外力作用時(shí)產(chǎn)生微應(yīng)變,電阻率發(fā)生變化,使橋臂電阻發(fā)生變化(一對(duì)變大一對(duì)變小)再激勵(lì)電壓信號(hào)輸出,經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)溫度補(bǔ)償、激光調(diào)阻、信號(hào)放大等處理手段和嚴(yán)格的裝配檢測(cè)、標(biāo)定等工藝,生產(chǎn)出具有標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)的壓力變送器。
特點(diǎn)
※輸出穩(wěn)定靈敏度高
一般應(yīng)變式傳感器輸出僅為10mV左右,而擴(kuò)散硅傳感器滿量程輸出為100mV左右,干擾及噪聲等因素影響相對(duì)較小,放大電路成本也相應(yīng)降低,分辨率大大提高。零壓力附近無(wú)死區(qū)。
※精度高,重復(fù)性好
擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器實(shí)現(xiàn)了壓力受感,壓力傳遞,力-電轉(zhuǎn)換在同一元件上實(shí)現(xiàn),無(wú)中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),無(wú)壓力滯后,無(wú)機(jī)械位移變形,保證了極小的重復(fù)性和遲滯誤差,和良好的線性度,無(wú)蠕變、穩(wěn)定、可靠、壽命長(zhǎng)。
※良好的溫度特性
由于采用了激光調(diào)阻,計(jì)算機(jī)補(bǔ)償?shù)认冗M(jìn)技術(shù)和巧妙控制擴(kuò)散濃度,實(shí)現(xiàn)滿量程溫度漂移(靈敏度溫度系數(shù))自補(bǔ)償。克服了半導(dǎo)體晶片本身溫度系數(shù)大的缺陷,使變送器的零位和滿度溫漂控制到了較小的范圍,拓寬了使用溫區(qū)。
※適合于危險(xiǎn)易爆的領(lǐng)域和場(chǎng)所應(yīng)用
擴(kuò)散硅壓力傳感器,變送器具有低電流,低電壓,低功耗的特點(diǎn),屬于本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品,并已取得了國(guó)家安全防爆機(jī)構(gòu)頒發(fā)的防爆證書。
※高可靠性與抗干擾性能
產(chǎn)品由于采用了不銹鋼材質(zhì)與特殊防護(hù)結(jié)構(gòu),和放大電路的防雷擊、抗干擾、抗過(guò)壓、過(guò)流等一系列保護(hù)手段,提高了可靠的密封防腐和抗惡劣工作環(huán)境的能力,完全適合一般工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量和控制的需要。
※可做電纜引出型,航空接頭型,赫斯曼接頭型